上海微电子装备(集团)股份有限公司

半导体产线搬运机器人 —— 智能片盒运输/搬运

ATR500

APR500

APR500片盒搬运机器人，可自动搬运两个12寸FOUP（兼容8寸片盒），实现端到端全自动搬运。ATR500物料运输机器人，可兼容多种半导体工厂物料，在工厂不同区域进行运输。机器人配置了多重安全保障功能，尤其适用于人机协作环境；多项创新技术有效提升机器人使用效率；可根据客制化需求，为用户提供工厂搬运整体解决方案。

产品特征

● 安全智能

● 适用于多种工况

● 兼容性好

● 友好的人机交互界面

● 整体解决方案

主要技术参数

型号	ATR500	APR500
功能	物料运输	物料搬运
导航方式	智能激光导航	智能激光导航
移动速度	最高1.3 m/s（可配置）	最高1.3 m/s（可配置）
充电方式	自动充电	自动充电