光配向设备 —— LCD Cell段高端屏制造
 SPA255/20 |
 SPA245/10 |
SPA200系列光配向设备主要应用于IPS TFT-LCD高端显示屏的配向工艺，可替代传统的摩擦配向设备。该系列设备能满足4.5代、5代、6代或更高世代产线光配向制程需求。
产品特征
● 优异的光学均匀性
● 精确的偏光角控制
● 良好的热控制
● 优异的载台性能
主要技术参数
| 型号 | SPA245 | SPA255 |
| 波长 | 254nm/ 313nm/ 365nm | 254nm/ 313nm/ 365nm |
| 偏光角精度 | ±0.08° | ±0.08° |
| 照度均匀性 | < 5% | < 5% |
| 基板尺寸 | 730mm×920mm | 1100mm×1300mm |
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