金属掩模测量设备 —— AM-OLED张网检测
 SOC260 |
SOC260主要应用于G6产线蒸镀金属掩模的TP/CD检测。
产品特征
● 龙门气浮结构
● 多自由度激光干涉仪
● 高精度
● 高效率
● 可配置不同的照明方式
● 可靠的温度控制系统
主要技术参数
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型号 |
SOC260 |
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线宽测量重复性 |
100nm@3sigma（On Metal Mask） |
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线宽测量精度 |
±300nm（On Mapping Glass） |
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长寸测量重复性 |
300nm@3sigma（On Mapping Glass） |
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长寸测量重复性 |
500nm@3sigma（On Metal Mask） |
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