300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices制造
 SSB300 |
 SSB380 |
 SSB320 |
SSB300系列步进投影光刻机面向6英寸以下中小基底先进光刻应用领域，满足HB-LED、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。
产品特征
● 高分辨率，分辨率可达0.8μm
● 高速在线MAPPING技术
● 高精度拼接
● 多尺寸基底自适应切换
● 高产能
● 高精度套刻
● 完美匹配ALIGNER
主要技术参数
| 型号 | SSB300 | SSB320 | SSB380 |
| 分辨率 | 0.8μm | 2μm | 1.5μm |
| 曝光光源 | i-line mercury lamp | i-line mercury lamp | i-line mercury lamp |
| 基底尺寸 | 100/150 mm | 100/150 mm | 100/150 mm |
| 工艺应用 | 支持LED PAD/PSS工艺 | 支持LED PAD工艺 | 支持LED PAD工艺 |
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可选配置 |
背面对准和可变狭缝（Variable Slit） |
背面对准和可变狭缝（Variable Slit） |
背面对准和可变狭缝（Variable Slit） |
上海浦东新区张东路1525号
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