长短寸测量设备 —— 长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量

SOM245/10

SOM255/10

SOM200系列测量设备主要应用于TFT Array、Color Filter和FOPLP等制程工艺。其中，SOM200/10系列为长寸测量设备，又称为长短寸测量设备或基板变形检测设备或精密测长机，主要应用于长寸测量，兼容短寸测量，可选配光刻胶膜厚测量；SOM200/10A系列为关键尺寸测量设备，主要应用于短寸测量。该系列设备沿用高分辨率曝光机相关技术，可用于4.5代、5代、5.5代或6代等各种基板的测量。

● 多功能测量

● 高测量精度

● 高测量效率

● 高效的温度控制和高效洁净系统